接觸式粗糙度檢測儀

這類儀器靠金剛石觸針掃描表面測量，精度適配多數(shù)工業(yè)精密檢測需求，不同定位的設(shè)備精度有明顯區(qū)別。普通便攜式設(shè)備如歐譜 OU1200，示值精度達 0.001μm，Ra 參數(shù)示值誤差≤±7%；上海研潤 2207 型的垂直最小分辨力達 0.6nm，Ra 示值誤差≤±5%。而gao端精密機型精度更突出，如中圖儀器 SJ5800 接觸式一體機，分辨率能達到 0.1nm，系統(tǒng)殘差小于 3nm；英示部分機型的粗糙度測量精度（Ra）為 ±(2% Ra + 0.015)μm，Z 軸測量分辨率達 0.0001μm。

非接觸式粗糙度檢測儀

這類儀器基于激光、白光干涉等原理，無磨損且適配超精密或易損表面測量，部分gao端設(shè)備可達納米級甚至亞納米級精度。比如常規(guī)非接觸式激光輪廓儀精度約 ±0.01μm；集萃中科光電的白光干涉儀 MTMI100，粗糙度測量精度達 0.003nm，重復(fù)性誤差＜1%；共聚焦顯微鏡的深度精度 ±5nm，原子力顯微鏡更是能實現(xiàn) 0.1nm 的超高分辨率，可滿足納米級粗糙度測量需求。